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日本YUTAKA高壓流量計(jì)壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO L21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。 主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V L12系列是一款按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的1.125英寸壓力調(diào)節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。

日本yutaka焊接壓力調(diào)節(jié)器流量計(jì)兩級(jí)減壓型 FR-Ⅱ 該產(chǎn)品專為焊接機(jī)中使用的 Ar 保護(hù)氣體而設(shè)計(jì)。 該裝置具有兩級(jí)減壓機(jī)構(gòu)，可抑制氣缸內(nèi)壓力下降時(shí)的流量波動(dòng)。此外，該流量計(jì)是一種通過(guò)安裝不會(huì)因軟管長(zhǎng)度而受到阻力的OUT型流量計(jì)，可以提供穩(wěn)定的壓力和流量的產(chǎn)品。

日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置。我們開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制，尺寸小，壓力損失極低。

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測(cè)量 AP250/AP500 AP250、AP500是適合半導(dǎo)體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制部（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

日本kk-ace自動(dòng)壓力控制器AP200系列傳感器 AP-200N-01/AP-200N-02/AP-200N-03 該壓力控制器是通過(guò)接收安裝在二次側(cè)的壓力傳感器的信號(hào)，自動(dòng)將壓力調(diào)節(jié)至任意設(shè)定壓力的裝置。該裝置閥門(mén)采用無(wú)彈簧結(jié)構(gòu)，可處理超高壓氣體和腐蝕性氣體。與手動(dòng)調(diào)壓器不同，不會(huì)因流量變化而產(chǎn)生壓力波動(dòng)，因此可以進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。